SH2000+系列,搭載非制冷高速線陣CMOS探測器,是一款可見-近紅外譜段、結構緊湊、支持高采樣率的光譜儀,可用于高速采集光譜檢測技術應用領域,例如CMP制程膜厚終點檢測等,也可應用在生產線及科研實驗室等領域,提供高靈敏度測量功能,在復雜的工業環境中,該系列具備強大的熱波長穩定性,系統熱穩定性好。
結構緊湊、支持高采樣率的光譜儀,可用于高速采集光譜檢測技術應用領域。
1、CMP膜厚終點檢測